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2024-10-11 09:31:17
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氦質譜檢測資質是指從事氦質譜檢漏工作的機構或個人所需要具備的資格認證，以證明其具備相應的專業知識、技能和能力，能夠準確、可靠地進行氦質譜檢漏操作，并保證檢測結果的準確性和可靠性。
真空法：需要利用輔助真空泵或檢漏儀對被檢產品內部密封室抽真空，采用氦罩或噴吹的方法在被檢產品外表面施氦氣。按照施漏氣體方法的不同，又可以分為真空噴吹法和真空氦罩法。真空噴吹法采用噴槍向被檢產品外表面噴吹氦氣，可實現漏孔精確定位；真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產品全部罩起來，在罩內充滿一定濃度的氦氣，可實現被檢產品總漏率的測量。
優點：檢測靈敏度高，可精確定位，能實現大容器或復雜結構產品的檢漏。
缺點：只能實現一個大氣壓差的漏率檢測，不能準確反映帶壓被檢產品的真實泄漏狀態。
檢測標準：主要有 QJ3123-2000《氦質譜真空檢漏方法》、GB /T 15823-2009《氦泄漏檢驗》。
應用范圍：主要應用于真空密封性能要求，但不帶壓工作的產品，如空間活動部件、液氫槽車、環境模擬設備等。
正壓法：需對被檢產品內部密封室充入高于一個大氣壓力的氦氣，當被檢產品表面有漏孔時，氦氣會通過漏孔進入被檢外表面的周圍大氣環境中，再采用吸槍的方式檢測被檢產品周圍大氣環境中的氦氣濃度增量，從而實現被檢產品泄漏測量。按照收集氦氣方式的不同，又可以分為正壓吸槍法和正壓累積法。正壓吸槍法采用檢漏儀吸槍對被檢產品外表面進行掃描探查，可實現漏孔精確定位；正壓累積法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產品全部罩起來，采用檢漏儀吸槍測量一定時間段前后的氦罩內氦氣濃度變化量，實現被檢產品總漏率的精確測量。
優點：不需要輔助的真空系統，可精確定位，實現任何工作壓力下的檢測。
缺點：檢測靈敏度較低，檢測結果不確定度大，受測量環境條件影響大。
檢測標準：主要有 QJ3089-1999《氦質譜正壓檢漏方法》、QJ2862-1996《壓力容器焊縫氦質譜吸槍罩盒檢漏試驗方法》。
應用范圍：主要應用于大容積高壓密閉容器產品的檢漏，如高壓氦氣瓶、艙門檢漏儀等。
真空壓力法：需要將被檢產品整體放入真空密封室內，真空密封室與輔助抽空系統和檢漏儀相連，被檢產品的充氣接口通過連接管道引出真空密封室后，再與氦氣源相連，當被檢產品表面有漏孔時，氦氣就會通過漏孔進入真空密封室，再進入氦質譜檢漏儀，從而實現被檢產品總漏率的測量。
優點：檢測靈敏度高，能實現任何工作壓力的漏率檢測，反映被檢件的真實泄漏狀態。
缺點：檢漏系統復雜，需要根據被檢產品的容積和形狀設計真空密封室。
檢測標準：GB /T 15823-2009《氦泄漏檢驗》。
應用范圍：主要應用于結構簡單、壓力不是特別高的密封產品，如電磁閥、高壓充氣管道、推進劑貯箱、天線、應答機、整星產品等。
背壓法：浸泡數小時或數天，如果被檢產品表面有漏孔，氦氣便通過漏孔壓入被檢產品內部密封腔中，使內部密封腔中氦分壓力上升。然后取出被檢產品，將表面的殘余氦氣吹除后再將被檢產品放入與檢漏儀相連的真空容器內，被檢產品內部密封腔內的氦氣會通過漏孔泄漏到真空容器，再進入氦質譜檢漏儀，從而實現被檢產品總漏率測量。檢漏儀給出的漏率值為測量漏率，需要通過換算公式計算出被檢產品的等效標準漏率。
優點：檢測靈敏度高，能實現小型密封容器產品的泄漏檢測，可以進行批量化檢測。
缺點：不能進行大型密封容器的漏，否則由于密封腔體容積太大，導致加壓時間太長。每個測量漏率都對應兩個等效標準漏率，在細檢完成后還需要采用其它方法進行粗檢，排除大漏的可能。
檢測標準：主要有 QJ3212-2005《氦質譜背壓檢漏方法》、GJB360A-1996《電子及電氣元件試驗方法方法112 密封試驗》。
應用范圍：主要應用于各種電子元器件產品檢漏。
氦質譜檢漏法是利用氦質譜檢漏儀的氦分壓力測量原理，實現被檢件的氦泄漏量測量。當被檢件密封面上存在漏孔時，示漏氣體氦氣及其它成分的氣體均會從漏孔泄出，泄漏出來的氣體進入氦質譜檢漏儀后，由于氦質譜檢漏儀的選擇性識別能力，僅給出氣體中的氦氣分壓力信號值。在獲得氦氣信號值的基礎上，通過標準漏孔比對的方法就可以獲得漏孔對氦泄漏量。
精度高：可以達到 5E-12 mbarL/s 甚至更高的精度，可通過標準漏孔進行計量，并且重復性非常好。
快速：能夠盡快定位并修復漏點，節省時間并減少報廢。
可定位漏點：噴氦法、吸槍法等常見的氦質譜檢漏方法可以確定泄漏的位置，便于后期處理漏孔或改進工藝。
不受溫度、產品形變、內表面放氣等的影響，不會弄濕或污染工件。
氦氣在環境空氣中含量極少（5ppm），環境本底比較低。
氦氣分子很小，并且擴散很快，可以縮短檢測器響應泄漏的時間。
氦氣容易獲取，無毒、不易燃并且屬于惰性氣體。
擁有氦質譜檢測資質意味著能夠遵循嚴格的標準和規范進行操作，確保檢測結果的準確性和可靠性，從而保障相關產品或設備的質量和安全性。同時，這也是在相關領域開展業務、獲得客戶信任的重要憑證。
氦質譜檢漏儀有多種分類方式，根據不同的結構和功能特點，可以分為不同的類型。其結構通常包括高真空系統、質譜室、離子源、加速電場、磁場、收集極等部分。
外界的氣體進入到檢漏儀質譜室后，產生離子。氣體離子被加速后進入磁場，其路徑會被偏轉，由于不同的離子荷質比不同，偏轉半徑也不同。在合適的地方設置一個狹縫，就可以僅讓示蹤氣體——氦氣的離子通過并到達收集極。收集極得到的離子流信號和進入檢漏儀的氦氣量多少，即泄露率的大小成正比。通過測量該信號，就可以測量泄漏率。
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